通常系統(tǒng)處于穩(wěn)態(tài)階段的時(shí)間最長,且穩(wěn)態(tài)階段系統(tǒng)操作具有周期性特點(diǎn),所以穩(wěn)態(tài)階段特點(diǎn)也最能反映系統(tǒng)的特性。穩(wěn)態(tài)階段機(jī)械手操作過程包括如下。R10706NB

   (1)從晶圓承載室中卸載一片未加工晶圓,傳送到加工腔體PCl處,加載到PC1中,PC1開始加工晶圓,所需時(shí)間為石。

   (2)移動到加工腔體PC2處,卸載PC2中的加工完成晶圓,傳送到晶圓承載室處,加載,所需時(shí)間為馬。

   (3)移動到晶圓承載室處,卸載另一片未加工晶圓,傳送到加工腔體PCo處加載,PC2開始加工晶圓,所需時(shí)間為馬。

   (4)以與第(2)、(3)步驟相同的方式加載晶圓到PG和P巳中。

   (5)移動到PC1處,卸載加工完成晶圓,傳送至晶圓承載室LL處加載,所需時(shí)間為T2。