本節(jié)假設(shè)在腔體加工時間相同的條件下,推導(dǎo)出Ⅳ腔體并行集束型裝各穩(wěn)態(tài)時期的吞吐量模型,R10934EC在此把它們擴(kuò)展到加工腔體加工時間不同的情況。在加工約束條件下,當(dāng)加工腔體加工時間不同時,系統(tǒng)穩(wěn)態(tài)時序圖如圖⒉5所示,實(shí)矩形表示腔體實(shí)際加工時問,虛線矩形表示可以接受的加工時間變化范圍。從圖⒉5中描述可見,如果加工時間在虛線矩形范圍內(nèi)變化,它的變化并不影響基本周期,晶圓加工的基本周期仍由最長加工時間決定。通過以上分析可以得出結(jié)論,加工約束狀態(tài)下,當(dāng)各個腔體的加工時間不同時,也可以應(yīng)用推導(dǎo)出的穩(wěn)態(tài)時期吞吐量理論模型,模型中加工時問由所有加工腔體中的最長加工時間決定。