在集束型裝備的運(yùn)轉(zhuǎn)中,存在限R1002制裝備吞吐量的兩種類(lèi)型的瓶頸,分別被稱(chēng)為傳輸約束和加工約束。如果機(jī)械手一直處于忙狀態(tài),當(dāng)加工腔體加工完一片晶圓時(shí),不得不等待機(jī)械手來(lái)卸載晶圓,這種情況稱(chēng)為傳輸約束。而對(duì)于加工約束,即機(jī)械手有時(shí)可能處于空閑狀態(tài),等待加工腔體完成晶圓加工。

   機(jī)械手有兩種操作序列,如果機(jī)械手處于卸載晶圓的腔體處,則機(jī)械手從腔體中卸載晶圓,攜帶晶圓移動(dòng)到目標(biāo)腔體處,最后加載晶圓到目標(biāo)腔體中,機(jī)械手完成這一操作序列所需時(shí)間用珥表示;若機(jī)械手未處于卸載晶圓的腔體處,則機(jī)械手首先空移過(guò)去,然后完成操作序列,機(jī)械手完成這一操作序列所需時(shí)間用表示。