問題描述

  圖5-1是兩個(gè)單集束型裝備通過單緩沖模塊耦合而成的兩集束型裝備。兩集NDS0610束型裝各由兩個(gè)單集束型裝備Cl和C2組成,加工模塊是單晶圓加工設(shè)備,單緩沖模塊作為C1和C2間的共享緩沖空間(只有一個(gè)晶圓空間),機(jī)械手旋轉(zhuǎn)移動(dòng)完成晶圓在裝載室、加工模塊和緩沖模塊之間的作業(yè)。晶圓從輸入裝載室進(jìn)入,定位后順序經(jīng)過C1的每個(gè)工位,然后通過緩沖模塊進(jìn)入C2,在C2完成一系列加工后,再次通過緩沖模塊返回Cl,并經(jīng)過冷卻返回輸出裝載室。生產(chǎn)運(yùn)作采用批量加工的循環(huán)式生產(chǎn)方式,除了要滿足單集束型裝備調(diào)度的條件外,還要滿足兩機(jī)械手在單緩沖模塊中不能發(fā)生碰撞。

  在系統(tǒng)達(dá)到穩(wěn)態(tài)后的每個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi),機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)和加工模塊加工作業(yè)重復(fù)相同活動(dòng)。這類問題的調(diào)度目標(biāo)是確定一個(gè)周期內(nèi)的一組機(jī)械手重復(fù)執(zhí)行的搬運(yùn)作業(yè)序列,以便最小化生產(chǎn)周期,也就是最大化產(chǎn)能。