SOI的發(fā)展和特點
發(fā)布時間:2008/6/5 0:00:00 訪問次數(shù):341
絕緣體上硅(soi)技術(shù)已有30多年的歷史，它開始于20世紀(jì)60年代的藍寶石上異質(zhì)外延硅(sos)。soi技術(shù)的發(fā)展可以分為3個階段[27~29]：第一階段是在20世紀(jì)60年代，藍寶石上異質(zhì)外延硅
絕緣體上硅(soi)技術(shù)已有30多年的歷史，它開始于20世紀(jì)60年代的藍寶石上異質(zhì)外延硅(sos)。soi技術(shù)的發(fā)展可以分為3個階段[27~29]：第一階段是在20世紀(jì)60年代，藍寶石上異質(zhì)外延硅
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