反射超聲波檢測系統(tǒng)
發(fā)布時間:2008/6/5 0:00:00 訪問次數(shù):463
另外一種鍵合界面空洞檢測方法是超聲波顯微鏡，是一種無損傷探測技術(shù)，廣泛應(yīng)用于各種材料檢測[24，25]。超聲波對于不同材料的界面反應(yīng)非常敏感，對硅-硅界面存在的空洞很容易聲學(xué)成像。使用超聲顯微成像能夠檢測到鍵合界面存在的空洞，因而可以把有缺陷的硅片在造成進(jìn)一步的損失之前清除掉。高分辨率的超聲顯微鏡可以辨別出直徑5µm的空洞[26]。
超聲顯微成像的工作原理是利用超聲波在不同介質(zhì)中的反射和傳播不同，工作原理如圖2.14所示。當(dāng)超聲顯微成像系統(tǒng)的超聲換能器（ultrasonic transducer）
另外一種鍵合界面空洞檢測方法是超聲波顯微鏡，是一種無損傷探測技術(shù)，廣泛應(yīng)用于各種材料檢測[24，25]。超聲波對于不同材料的界面反應(yīng)非常敏感，對硅-硅界面存在的空洞很容易聲學(xué)成像。使用超聲顯微成像能夠檢測到鍵合界面存在的空洞，因而可以把有缺陷的硅片在造成進(jìn)一步的損失之前清除掉。高分辨率的超聲顯微鏡可以辨別出直徑5µm的空洞[26]。
超聲顯微成像的工作原理是利用超聲波在不同介質(zhì)中的反射和傳播不同，工作原理如圖2.14所示。當(dāng)超聲顯微成像系統(tǒng)的超聲換能器（ultrasonic transducer）
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