金屬半導體場效應管(MESFET)
發(fā)布時間:2012/4/26 19:28:42 訪問次數(shù):1097
MESFET與JFET的主要區(qū)別是用金屬STM32F103R6T6A半導體接觸形成的肖特基勢壘代替PN結作為柵結,形成單向導電的整流接觸。它可以用硅材料制造,但更多的是用GaAs或其他Ⅲ-V族混晶化合物半導體材料制成。MESFET的基本結構首先是在半絕緣襯底上進行選擇性離子注入形成有源層,再在其表面制作源和漏的兩個歐姆電極,并在兩者之間制作勢壘肖特基的柵電極,形成三端結構。柵耗盡層下面的有源層部分稱為溝道。在GaAs MESFET中,由于電子比空穴的遷移率大,因而通常用以電子為載流子的N型作為有源層。N型有源層由向半絕緣的GaAs襯底注入Se+獲得,注入層厚大約0.1弘m;也可以是薄的N型GaAs外延層。作為高阻抗的襯底GaAs材料,其阻抗高達lOgQ.cm,因而大大減少了寄生電容且工藝簡單,加土電子遷移率高這一優(yōu)點,使得這種器件的傳輸時間短,反應速度快,廣泛應用于微波和超高速領域。
MESFET與JFET的主要區(qū)別是用金屬STM32F103R6T6A半導體接觸形成的肖特基勢壘代替PN結作為柵結,形成單向導電的整流接觸。它可以用硅材料制造,但更多的是用GaAs或其他Ⅲ-V族混晶化合物半導體材料制成。MESFET的基本結構首先是在半絕緣襯底上進行選擇性離子注入形成有源層,再在其表面制作源和漏的兩個歐姆電極,并在兩者之間制作勢壘肖特基的柵電極,形成三端結構。柵耗盡層下面的有源層部分稱為溝道。在GaAs MESFET中,由于電子比空穴的遷移率大,因而通常用以電子為載流子的N型作為有源層。N型有源層由向半絕緣的GaAs襯底注入Se+獲得,注入層厚大約0.1弘m;也可以是薄的N型GaAs外延層。作為高阻抗的襯底GaAs材料,其阻抗高達lOgQ.cm,因而大大減少了寄生電容且工藝簡單,加土電子遷移率高這一優(yōu)點,使得這種器件的傳輸時間短,反應速度快,廣泛應用于微波和超高速領域。
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