第一層金屬
發(fā)布時間:2016/6/18 21:00:11 訪問次數(shù):702
接觸孔制作完成后,沉積△、AlCu及光刻和刻蝕,去掉未被光刻膠覆蓋的金屬, TiN。OP221GS-REEL7接著進(jìn)行第一層金屬(金屬1)的形成金屬1互連,如圖4.19所示。
通孔1~5及金屬2~6層
金屬1完成后,進(jìn)行通孔1的工藝,通孔的工藝與接觸孔工藝類似。接著進(jìn)行金屬2工藝,金屬2的工藝與金屬1相同。同樣,其他層的通孔及金屬工藝均無大差別,只是因?yàn)榱鬟^大電流的要求,一般上層(尤其是頂層)金屬厚度較下層金屬厚。最終完成金屬6后器件的剖片如圖4.⒛所示。
接觸孔制作完成后,沉積△、AlCu及光刻和刻蝕,去掉未被光刻膠覆蓋的金屬, TiN。OP221GS-REEL7接著進(jìn)行第一層金屬(金屬1)的形成金屬1互連,如圖4.19所示。
通孔1~5及金屬2~6層
金屬1完成后,進(jìn)行通孔1的工藝,通孔的工藝與接觸孔工藝類似。接著進(jìn)行金屬2工藝,金屬2的工藝與金屬1相同。同樣,其他層的通孔及金屬工藝均無大差別,只是因?yàn)榱鬟^大電流的要求,一般上層(尤其是頂層)金屬厚度較下層金屬厚。最終完成金屬6后器件的剖片如圖4.⒛所示。
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