所加的斜坡電壓具有如下特征:斜坡速率,0.1~1,0MV/(cm・s)線性上升;斜坡步進高度,最大0.1MV/cm;斜坡步進時間,小于或等于0.1s;最大電場,15MV/cm;最小電流密度容限,⒛A/Gm2。

   初始電壓可以選擇為使用條件下的電壓值,或者稍低于使用條件下的電壓值。當流BP2309過氧化層的電流超過預計電流的10倍,或者電壓容限已達到時,斜坡電壓過程將終止。失效判據(jù)為電流增大為先前的10倍以上。程序根據(jù)擊穿時電流的大幅增加,判斷擊穿位置,找出擊穿電壓,并計算出擊穿電荷和擊穿電荷密度。

   在應力測試完成以后,再次在使用應力下進行測試,以確認在使用應力下的漏電流是否小于1uA,或者達到了最大場強,以判斷失效的類型。失效分為致命失效、非致命失效、屏蔽失效和其他類型的失效,判斷的依據(jù)如表7.4所示,由程序自動檢測完成。斜坡電壓測量流程如圖7.6所示。