Mo源存儲在不銹鋼鼓泡瓶(MO Bubb1er)中,多為液態(tài),通過載氣流經(jīng)源瓶時將蒸發(fā)的蒸氣攜帶到反應(yīng)室。Mo源的供應(yīng)流程一般從載氣經(jīng)MFC進(jìn)入源瓶內(nèi)的入口端開始,A1109AS-H-2R2N入口端會低于源瓶內(nèi)的液面,這樣通過載氣鼓泡就可使Mo源有效蒸發(fā),從源瓶內(nèi)出氣的瓶內(nèi)端口會高出液面,以便充分通暢地帶走己蒸發(fā)的Mo源蒸氣。經(jīng)壓力控制計后,Mo 源會經(jīng)RuⅣ吮nt閥組,運(yùn)送到反應(yīng)腔或直接到尾氣系統(tǒng)。從Mo源瓶帶出的氣源有效量由流經(jīng)Mo源瓶的載氣流量、MO源瓶溫度和瓶內(nèi)壓力決定。在實(shí)際生產(chǎn)中,從源瓶出口到反應(yīng)腔入口處,會配置加熱系統(tǒng)對管線進(jìn)行加熱,以避免源在管線中凝聚甚至阻塞管道。