負膠是使明昂甲的光刻膠,用于負版光刻。曝光后,窗口處的膠膜保留.未曝光的膠膜被顯影液除去,SC1812ML330K圖形發(fā)生反轉(zhuǎn)(如圖10-12所示)。負膠大多數(shù)由長鏈高分子有機物組成。例如,由順聚異戊二烯和對輻照敏感的交聯(lián)劑,以及溶劑組成的負膠,響應(yīng)波330~430nm,膠膜厚度0,3~1um,顯影液是有機溶劑,如二甲苯等。曝光的順聚異戊二烯在交聯(lián)劑作用下交聯(lián),成為體形高分子并固化,不再溶于有機溶劑構(gòu)成的顯影液,而未曝光的長鏈高分子溶于顯影液,顯影時被去掉。

   負膠顯影后保留區(qū)的膠膜是交聯(lián)高分子,在顯影時,吸收顯影液而溶脹。另外,交聯(lián)反應(yīng)是局部的,邊界不齊,所以圖形分辨率下降。光刻后硬化的膠膜也較難去除。但與正膠相比,負膠抗蝕性強于正膠。

   正負膠具有以下的特點:正膠,顯影容易,圖形邊緣齊,無溶脹現(xiàn)象,光刻的分辨率高,去膠也較容易。負膠顯影后保留區(qū)的膠膜是交聯(lián)高分子,在顯影時,吸收顯影液而溶脹,另外,交聯(lián)反應(yīng)是局部的,邊界不齊,所以圖形分辨率下降。光刻后硬化的膠膜也較難去除。但負膠比正膠相抗蝕性強。