實時監(jiān)控是指生產(chǎn)過程中通過監(jiān)控裝置對整個工藝線或具體工藝過程進行的實時監(jiān)控,當(dāng)監(jiān)控M28W320CT-90N6裝置探測到某一被測條件達到設(shè)定閾值時,工藝線或具體工藝設(shè)各就自動進行工藝調(diào)整,或者報警(自停止),由操作人員及時進行工藝調(diào)整。

   現(xiàn)代化的微電子工藝線通常對工藝環(huán)境進行實時監(jiān)控。例如,微電子芯片生產(chǎn)要求在超凈環(huán)境下進行,通過設(shè)置環(huán)境監(jiān)控裝置自動調(diào)整工藝環(huán)境,滿足芯片生產(chǎn)對溫度、濕度、潔凈度等指標(biāo)的要。

在3.3節(jié)介紹的MBE設(shè)備中,外延生長室中有完備的監(jiān)測系統(tǒng),監(jiān)測系統(tǒng)主要由四極質(zhì)譜儀、俄歇電子能量分析器、離子槍和高能電子衍射儀組成。能實現(xiàn)對外延層生長速率、室內(nèi)氣體成分、外延晶體結(jié)構(gòu)和厚度的實時監(jiān)測及原位分析。操作者由檢測分析結(jié)果及時調(diào)整工藝條件,這是MBE生長的外延層有高品質(zhì)的前提和保證。

   在先進的Cˇ0、P、0等設(shè)各中也有類似的監(jiān)控系統(tǒng)。隨著微電子產(chǎn)業(yè)的科技進步,當(dāng)前微電子芯片生產(chǎn)已基本上實現(xiàn)了對全工藝過程的實時監(jiān)控,并在監(jiān)控方法、技術(shù)、內(nèi)容等各方面還在不斷進步。