氧化層檢測(cè)
發(fā)布時(shí)間:2017/5/31 21:44:44 訪問次數(shù):1351
厚度測(cè)量
①比色法。由于光M38B79FFFP的干涉效應(yīng),透明的介質(zhì)膜會(huì)呈現(xiàn)取決于膜層厚度、折射率、光源光譜分布和觀察角度的特定的顏色。
②斜面干涉法。待測(cè)樣品表面局部用松香或蠟保護(hù)起來,用HF腐蝕掉未掩蔽部分,在交界處得到一個(gè)氧化層斜面。在顯微鏡下觀察,在平行斜面方向會(huì)呈現(xiàn)明暗相間的干涉條紋,實(shí)際上是膜的等厚線。根據(jù)所用單色光的波長(zhǎng)、折射率和干涉條紋數(shù)可以計(jì)算膜厚。這是測(cè)量較厚膜的傳統(tǒng)方法。
③橢圓偏振法。一種使用廣泛,精度最高(可達(dá)零點(diǎn)幾納米)的方法,可給出折射率。但當(dāng)膜厚超過一個(gè)周期時(shí),要用其他方法定出膜層級(jí)數(shù)。
④分光光度計(jì)法。利用衍射晶格將薄膜顏色(干涉色)進(jìn)行分光,然后用計(jì)算機(jī)根據(jù)其光譜形狀求出膜厚。廣泛用于氧化硅、氮化硅、多晶硅和光刻膠厚度的測(cè)量。與光學(xué)顯微鏡聯(lián)合使用,具有微區(qū)測(cè)厚的能力,可以直接測(cè)量如發(fā)射區(qū)、基區(qū)和接觸孔內(nèi)氧化硅的厚度。此方法的適用范圍為在0,05~10um,0・05um以下的膜厚應(yīng)使用橢圓偏振儀測(cè)厚。
厚度測(cè)量
①比色法。由于光M38B79FFFP的干涉效應(yīng),透明的介質(zhì)膜會(huì)呈現(xiàn)取決于膜層厚度、折射率、光源光譜分布和觀察角度的特定的顏色。
②斜面干涉法。待測(cè)樣品表面局部用松香或蠟保護(hù)起來,用HF腐蝕掉未掩蔽部分,在交界處得到一個(gè)氧化層斜面。在顯微鏡下觀察,在平行斜面方向會(huì)呈現(xiàn)明暗相間的干涉條紋,實(shí)際上是膜的等厚線。根據(jù)所用單色光的波長(zhǎng)、折射率和干涉條紋數(shù)可以計(jì)算膜厚。這是測(cè)量較厚膜的傳統(tǒng)方法。
③橢圓偏振法。一種使用廣泛,精度最高(可達(dá)零點(diǎn)幾納米)的方法,可給出折射率。但當(dāng)膜厚超過一個(gè)周期時(shí),要用其他方法定出膜層級(jí)數(shù)。
④分光光度計(jì)法。利用衍射晶格將薄膜顏色(干涉色)進(jìn)行分光,然后用計(jì)算機(jī)根據(jù)其光譜形狀求出膜厚。廣泛用于氧化硅、氮化硅、多晶硅和光刻膠厚度的測(cè)量。與光學(xué)顯微鏡聯(lián)合使用,具有微區(qū)測(cè)厚的能力,可以直接測(cè)量如發(fā)射區(qū)、基區(qū)和接觸孔內(nèi)氧化硅的厚度。此方法的適用范圍為在0,05~10um,0・05um以下的膜厚應(yīng)使用橢圓偏振儀測(cè)厚。
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