液晶定位技術(shù)是O.35um及以L制程十分有效的失效定位手法,廣泛用于靜電損傷失效(clectrostatic discharge failures)、柵氧化層與時間相關(guān)的介質(zhì)擊穿(TDI)B)、 PCF7991AT晶頻(MetalWhiskers)和I藝引起的短路漏電流增大甚至斷路等失效。

   液晶熱點檢測技術(shù)是一種快速、便宜的分析方法。除了芯片表面清潔外,不需復(fù)雜的樣品制備�？臻g分辨率和熱分辨率較高,目前已分別達到1um和3uw9但是液晶熱點檢測技術(shù)是正面失效定位方法c隨著r朝深亞微米尺寸發(fā)展,器件△作電壓不斷下降,金屬互連層增加到8~9層,甚至10層,引起芯片失效的熱點的能量越來越小,底層金屬或前段制程缺陷產(chǎn)生的熱點也變得微弱,經(jīng)過多層金屬的熱擴散,到達芯片表面的熱點常低于液晶的檢測靈敏度,使液晶檢測技術(shù)在深亞微米制程失效分析中的應(yīng)用受到限制。另外,引起失效的熱點不能太靠近大電流處(large sources of heat),囚為高能耗熱點會掩蓋真正的缺陷引起的熱點。液晶檢測技術(shù)對CM()s器件較為敏感,TTI'器件囚其能耗較大,液晶檢測技術(shù)的應(yīng)用受到限制。