液晶檢測(cè)技術(shù):液晶在一百多年前就有記載,是一種既具有液體的流動(dòng)性,又具有P89LPC935FA晶體各向異性的物質(zhì),其較各向同性的液體有序,相對(duì)于固態(tài)晶體,液晶分子內(nèi)部及分子間具有較高的流動(dòng)性。在芯片失效分析中常用的液晶在常溫下呈向列相(nematic phase),液晶分子沿一定的優(yōu)先方向排列。當(dāng)它受熱而溫度高于某一臨界溫度T((相變溫度)日寸,液晶分子呈各向同性排列,變成各向同性的液體,而且相變是可逆的。利用液晶的這一特點(diǎn),可以在正交偏振光下觀察液晶的相變點(diǎn)麗檢測(cè)熱點(diǎn)。

   實(shí)驗(yàn)時(shí),把約5~?um的液晶,用注射器針頭(syringe needle)或剪成尖角的濾紙 (microwipc tissue)將液晶均勻地涂在清潔的芯片表面(正交偏振光顯微鏡下呈彩虹色),然后把芯片粘貼在樣品臺(tái)上并加偏置。這時(shí)應(yīng)控制樣品臺(tái)的溫度,使芯片的溫度低于臨界溫度并接近臨界溫度(只要缺陷的溫度稍微增加就會(huì)超過(guò)臨界溫度),再施加合理的偏置條件以激勵(lì)失效部位。有的文獻(xiàn)報(bào)道。除了樣品臺(tái)加熱外,也使用另外的照明系統(tǒng)以到達(dá)非常高的溫度敏感性(tcmperaturc sensitivity),如圖14.5所示。液晶失效定位時(shí),除r⒈述裝置和設(shè)定,為了提高液品檢測(cè)的靈敏度,常加一低頻脈沖偏置,脈沖電流使正交偏光下觀察到的液晶相變點(diǎn)呈現(xiàn)閃爍(blinking cffcc0效果,脈沖波的占空比(du1y cyclc)起到控制每一周期的熱能(heating)和閃爍點(diǎn)(熱點(diǎn))大小的作用。