微光探頭是PEM系統(tǒng)核`b部件,是系統(tǒng)PI74FCT163244A探測靈敏度的決定因素。在深亞微米技術領域,隨著設計規(guī)則(design rule)及工作電壓(supply voltagc)的逐漸減小,微弱或小尺寸的缺陷亦能引起器件失效,使失效定位面臨越來越大的挑戰(zhàn)。PEM系統(tǒng)的探測靈敏度成為成功定位的關鍵參數(shù)。遺憾的是,到目前為止,還沒有效的定量評估PEM系統(tǒng)探測靈敏度的方法。

   PEM探測靈敏度取決于波長、微光探頭靈敏度、光學系統(tǒng)的精準度及噪聲(常指系統(tǒng)本身固有的寄生熱噪音)等。圖14,7為二種代表性商用微光探頭:CCD、MCT和InGaAs探頭量子效率同波長關系圖。