TEM是所有微分析技術(shù)中具有最高分辨率的技術(shù),已成為深亞微米尺寸時代分析實驗室必不可少的日常分析、 T0P100YAI觀測I具。以FEI T⒛場發(fā)射透射電鏡為例,日前商用透射電鏡的=個主要指標如下為:①加速電壓:⒛0kV。常用TEM的加速電壓在⒛O~40kV范圍內(nèi)。②分辨率:點分辨率=0.248nm;線分辨率=0.lO2nm。③放大倍率:現(xiàn)代TEM的最大放大倍率在一百萬倍左右。

   工作原理和構(gòu)造

   TEM的工作原理和普通光學顯微鏡類似,是依照阿貝成像原理丁作的。TEM使用電子束代替光波,用電磁透鏡代替光學玻璃透鏡。其基本△作原理是由電子槍發(fā)射的電子束,經(jīng)高壓加速和匯聚透鏡的作用,聚焦于樣品表面,由于透射電鏡樣品厚度通常<1000A.透過樣品的透射電子帶有反映樣品特征的信息,經(jīng)物鏡形成一次放大電子圖像.冉經(jīng)中間鏡和投影鏡進一步放大后,在熒光屏L得到最后的電子顯微圖像。電鏡總放大倍數(shù)M曾,等于成像系統(tǒng)各個透鏡放大倍數(shù)的乘積,即M總=A/f物x Mi|""xM投影o由于電子波長極短,同時與物質(zhì)作用遵從布拉格(Bragg)方程,產(chǎn)佳衍射現(xiàn)象,使得透射電鏡白身在具有高的像分辨本領(lǐng)的同時兼有結(jié)構(gòu)分析的功能。