集成電路可靠性介紹
發(fā)布時間:2017/11/16 21:03:36 訪問次數(shù):879
可靠性的定義是系統(tǒng)或元器件在規(guī)定的條件下和規(guī)定的時悶內(nèi)・完成規(guī)定的功能的能J(thc abdity of a sys1en) or con1I)oncnt 1o pcrforn】 its required functions undcr s1a1edc°nditions fOr a sI)ecific pcriod Of tin】c).SIHG20N50C-E3所謂規(guī)定的時悶一般稱為壽命(lifC1in)c),基本集成電路產(chǎn)甜l的壽命需要達到如果各個部分的壽命部⒎I以達到一定的標準,那產(chǎn)爿t的"T靠性也能達到^定的柄i準集成電路在不同條件下的失效過程大致相同,lir以劃分為i個階段:初期失效Lx、隨機失效區(qū)和磨損失效l×・失效率和使用時問之問的關系足現(xiàn)“浴缸曲線”,如圖15,1所示。使川初期失效率高,主要是由于集成電路的缺陷造成的,如硅片表面的劃痕、玷污、劃片應力、光刻缺陷等,這一階段對集成電路平均壽命影響很大。
為F避免“浴缸曲線”初期的不合格品出廠往加高電場和高溫進行篩選,去掉不合格品。 在隨機失效階段,失效率相對比較低廣^般為-常數(shù),器件特性慕本恒定,但發(fā)+故障,則常常是致命的:在磨損失效階段・早期發(fā)明品體管時.人們認為品體管是固體器件、具有無限壽命.但集成電路已經(jīng)發(fā)展到超大規(guī)模集hlt電路・每`芯片⒈集成有器件數(shù).尋致器件的尺寸不斷精細化.失效率隨著時問增大雨i提高出現(xiàn)磨損失效現(xiàn)象:
可靠性的定義是系統(tǒng)或元器件在規(guī)定的條件下和規(guī)定的時悶內(nèi)・完成規(guī)定的功能的能J(thc abdity of a sys1en) or con1I)oncnt 1o pcrforn】 its required functions undcr s1a1edc°nditions fOr a sI)ecific pcriod Of tin】c).SIHG20N50C-E3所謂規(guī)定的時悶一般稱為壽命(lifC1in)c),基本集成電路產(chǎn)甜l的壽命需要達到如果各個部分的壽命部⒎I以達到一定的標準,那產(chǎn)爿t的"T靠性也能達到^定的柄i準集成電路在不同條件下的失效過程大致相同,lir以劃分為i個階段:初期失效Lx、隨機失效區(qū)和磨損失效l×・失效率和使用時問之問的關系足現(xiàn)“浴缸曲線”,如圖15,1所示。使川初期失效率高,主要是由于集成電路的缺陷造成的,如硅片表面的劃痕、玷污、劃片應力、光刻缺陷等,這一階段對集成電路平均壽命影響很大。
為F避免“浴缸曲線”初期的不合格品出廠往加高電場和高溫進行篩選,去掉不合格品。 在隨機失效階段,失效率相對比較低廣^般為-常數(shù),器件特性慕本恒定,但發(fā)+故障,則常常是致命的:在磨損失效階段・早期發(fā)明品體管時.人們認為品體管是固體器件、具有無限壽命.但集成電路已經(jīng)發(fā)展到超大規(guī)模集hlt電路・每`芯片⒈集成有器件數(shù).尋致器件的尺寸不斷精細化.失效率隨著時問增大雨i提高出現(xiàn)磨損失效現(xiàn)象:
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