高能電子射人固體樣品,與原子核和核外電子發(fā)生彈性和非彈性散射過(guò)程,激發(fā)固 A506V3.1體樣品產(chǎn)生各種物理信號(hào),這些物理信號(hào)有背散射電子、工次電子、吸收電子、透射電子(如果樣品很薄,電子可以穿透的話(huà))、特征X射線(xiàn)、俄歇電子、陰極熒光、電子束感生電效應(yīng)等。用不同的方式接收和處理這些物理信號(hào),構(gòu)成了電子顯微分析的基礎(chǔ)。掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,SEM)就是通過(guò)偵測(cè)二次電子或背散射電子,實(shí)現(xiàn)高分辨率、高放大倍數(shù)和大景深的觀(guān)測(cè),非常適合于微小尺寸的測(cè)量。工次電子是被入射電子轟擊出來(lái)的核外電子,通常能力只有幾個(gè)電子伏特,來(lái)自于固體表面十幾到幾十埃范圍內(nèi),在這樣淺的表層里,入射電子與樣品原子只發(fā)生次數(shù)很有限的散射,基本未向側(cè)向擴(kuò)展,因此叮以認(rèn)為在樣品上方檢測(cè)到的二次電子主要來(lái)自于掃描束斑相當(dāng)、深度為幾十埃的樣品體積內(nèi),二次電子信號(hào)源于被觀(guān)測(cè)樣品的表面,可以提供更高的空問(wèn)分辨率,在CD SEM(criticaldimension)中廣泛應(yīng)用。