掃描系統(tǒng):其作用是SA555P提供入射電子束在樣品表面以及陰極射線管電子束在熒光屏的同步掃描信號。改變?nèi)松潆娮邮跇悠繁砻娴膾呙枵穹?以獲得所需放大倍數(shù)的掃描像。它由掃描信號發(fā)生器、放大控制器等電子學(xué)線路和相應(yīng)的掃描線圈組成。

    信號檢測放大系統(tǒng):其作用是檢測樣品在人射電子作用下產(chǎn)△的物理信號,然后經(jīng)視頻放大,作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號。通常用閃爍計(jì)數(shù)器來檢測二次點(diǎn)子、背散射電子等信號,它由閃爍體、光導(dǎo)管、光電倍增器等組成。當(dāng)信號電子撞擊并進(jìn)人閃爍體時(shí)引起電離,當(dāng)離子與白由電子復(fù)合時(shí),產(chǎn)生可見光信號沿光導(dǎo)管送到光電倍增器進(jìn)行放大,輸出電信號經(jīng)視頻放大器放大后作為調(diào)制信號。這種監(jiān)測系統(tǒng)在很寬的信號范圍內(nèi)具有正比于原始信號的輸出,具有很寬的頻帶和高的增益,而昆噪音很小。