圖像顯示和記錄系統(tǒng):把信號監(jiān)測系統(tǒng)SA568AD輸出的調(diào)制信號.轉(zhuǎn)換為在陰極射線管熒光屏上顯示的樣品表面某種特征的掃描圖像。目前電子計算機(jī)在此領(lǐng)域的應(yīng)用非常深人廣泛,掃描圖像保存在電腦磁盤中.還可以利用各種專業(yè)軟件對圖像進(jìn)行所需的分析處理。

   真空系統(tǒng):其作用是建立起確保電子光學(xué)系統(tǒng)正�！髯�、防止樣品污染所必需的真空度,安裝了冷場發(fā)射電子槍的掃描電鏡其燈絲部分已達(dá)到10′Pa的真空度。

  電源系統(tǒng):由穩(wěn)壓、穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護(hù)電路組成,提供掃描電鏡各部分所需要的電源。