改變波長或人射角度,會得到另外一組厚度值,而兩組測量所得的厚度可能值中只有一個是相同的,SC4211STRT這就是正確的厚度。對于折射率相近的材料,在接近周期厚度時難以區(qū)分其跡線。通過測董不同人射角下的△和￠瀋邕更準(zhǔn)確地計算出反射率。

   通常橢偏儀測量作為波κ和人射角函數(shù)ρ的值(經(jīng)常以矽和△或相關(guān)的量表示)。一次測量完成以后,所得的數(shù)據(jù)用來分析得到光學(xué)常數(shù)、膜層厚度以及其他感興趣的參數(shù)值。如圖16.7所示,分析的過程包含很多步驟。 可以用一個模型來描述測量的樣品,這個模型包含F(xiàn)每個材料的多個平面,包括基底。在測量的光譜范圍內(nèi),用厚度和光學(xué)常數(shù)(″和乃)來描述每一個層,對未知的參數(shù)先做一個初始假定。最簡單的模型是…個均勻的大塊固體,表面沒有粗糙和氧化。這種情況下.折射率的復(fù)函數(shù)直接表示但實際應(yīng)用中大多數(shù)材料都是粗糙或有氧化的表面,lxl此L述函數(shù)式常常不能應(yīng)用。圖16.7中的下一步,利用模型來生成Gen。I)ata,由模型確定的參數(shù)生成Psi和Detla數(shù)據(jù),并與測蚩得到的數(shù)據(jù)進行比較,不斷修止模型中的參數(shù)使得tr成的數(shù)據(jù)與測量得到的數(shù)據(jù)盡暈一致。即使在一個大的基底上只有一層薄膜,理淪上對這個模型的代數(shù)方程描述也是非常復(fù)雜的。因此通常不能對光學(xué)常數(shù)、厚度等給出類似上面方程一樣的數(shù)學(xué)描述,這樣的問題,通常被稱作反演問題。

   最通常的解決橢偏儀反演問題的方法就是在凵歸分析中,應(yīng)用I'evenberg_Marquard1算法c利用比較方程,將實驗所得到的數(shù)據(jù)和模型/t成的數(shù)據(jù)比較。通常.定義均方誤差(Mean Square Error,MsE)為在有些情況下,最小的MsE可能產(chǎn)生非物理或非唯一的結(jié)果e但是加人符合物理定律的限制或判斷后,還是可以得到很好的結(jié)果。網(wǎng)歸分析已經(jīng)在橢偏儀分析中收到成功的應(yīng)用,結(jié)果是可信的、符合物理定律的、精確可靠.