偏振光橢圓率測量儀所需的組件包括:①把非偏振光轉(zhuǎn)化為線性偏振光的光學(xué)系統(tǒng); SC45141②把線性偏振光轉(zhuǎn)化為橢圓偏振光的光學(xué)系統(tǒng);③樣品反射;①測董反射光偏振特性的光學(xué)系統(tǒng);⑤測量光強度的探測器;⑥根據(jù)假設(shè)模型計算結(jié)果的計算機,如圖16.8所示, 匯聚束技術(shù):匯聚束技術(shù)實現(xiàn)一個錐形光束,人射角最小到40°,最大到7O°。探測器有多個像素可以同時處理測量角度范圍內(nèi)的光線。從最大或最小角度反射來的光靠近束斑的邊緣,所得的結(jié)果可能無意義,因此可以裁減掉相應(yīng)的像素。而且匯聚束技術(shù)的最小束斑可以到5×10um9可用于測量非常小的圖形。

   在光譜橢偏儀的測量巾使用不同的硬件配置,但每種配置都必須能產(chǎn)生已知偏振態(tài)的光束,測量由被測樣品反射后光的偏振態(tài),這要求儀器能夠量化偏振態(tài)的變化量ρ。 有些儀器測童ρ是通過旋轉(zhuǎn)確定初始偏振光狀態(tài)的偏振片(稱為起偏器),冉利用第二個固定位置的偏振片(稱為檢偏器)來測得輸出光束的偏振態(tài)。另外一些儀器是同定起偏器和檢偏器,而在中問部分調(diào)制偏振光的狀態(tài),如利用聲光晶體等,最終得到輸出光束的偏振態(tài)。這些不同配置 的最終結(jié)果都是測量作為波長和人射角復(fù)函數(shù)ρ,如圖16.9所示。