在選擇合適的橢偏儀的時候,光譜范圍和測量速度通常也是一個需要考慮的重要因素。SC4519ASETRT可選的光譜范圍從深紫外到紅外,光譜范圍的選擇通常由應(yīng)用決定,不同的光譜范圍能夠提供關(guān)于材料的不同信息,合適的儀器必須和所要測量的光譜范圍匹配。

   測量速度通常由所選擇的分光儀器(用來分開波長)來決定,單色儀用來選擇單一的、窄帶的波長,通過移動單色儀內(nèi)的光學(xué)設(shè)備(一般由計(jì)算機(jī)控制),單色儀可以選擇感興趣的波長。這種方式波長比較準(zhǔn)確,但速度比較慢,因?yàn)槊看沃荒軠y試一個波長。如果單色儀放置在樣品前,有一個優(yōu)點(diǎn)是明顯減少了到達(dá)樣品的人射光的量(避免了感光材料的改變)。另外一種測量的方式是同時測量整個光譜范圍,將復(fù)合光束的波長展開,利用探測器陣列來檢測各個不同的波長信號。在需要快速測量時,通常是用這種方式。傅里葉變換分光計(jì)也能同時測量整個光譜,但通常只需一個探測器,而不用陣列,這種方法在紅外光譜范圍應(yīng)用最為廣泛。

   在集成電路生產(chǎn)過程中,橢偏儀廣泛用于測量介電薄膜的厚度和光學(xué)性質(zhì),這些薄膜有二氧化硅、氮化硅以及低慮材料等,可測量的薄膜厚度從十幾埃到數(shù)千埃不等,既可以測量單層薄膜,也可以測量多層薄膜的厚度,成為介電薄膜生長I藝監(jiān)控的重要手段。