在半導(dǎo)體生產(chǎn)制造的各個(gè)環(huán)節(jié),都可能會引起最終產(chǎn)品的失效。yield(良率,合格率) HCF4541M013TR是一個(gè)量化失效的指標(biāo),通常也是工藝改善最重要的指標(biāo)。圖17,1所示為半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中的各種yie1d。

   定義在wafer或者lot~L的”eld,一般反映生產(chǎn)△藝中的控制問題,如操作人員的誤操作,設(shè)備故障等,通常也稱為生產(chǎn)線良率(line”cld)。例如,生產(chǎn)線下線1000片wafcr,最后由于各種原囚報(bào)廢(scrap)20片wafer,那么hne yield就等于98%。

   定義在die上的yield,一般反映的是生產(chǎn)I藝中的物理缺陷,或者工藝參數(shù)飄移超出規(guī)格,在產(chǎn)品上引起的電學(xué)性能失效。例如,一片wafer上有1000個(gè)dle,最終有800個(gè)能通過所有的電性測試,那么die yield就是80%。在本章中,除非特別說明,良率都是指die yield。