以上定義考慮的是l晶圓生產(chǎn)周期,在生產(chǎn)過程中,多晶圓生產(chǎn)月期調(diào)度具有更高的產(chǎn)能,A915BY-150M同時也意味著調(diào)度更加復(fù)雜,以下介紹多晶圓生產(chǎn)周期相關(guān)的概念。定義1.4 晶圓加工是循環(huán)牛產(chǎn)過程,每次循環(huán)產(chǎn)生虍片類型相同的晶圓,機械手和加工活動再次回到初始狀態(tài),其機械手活動序列稱為丹品圓周期序列(七Wafcr CycleScquencc),簡稱女序列,當?shù)?l時稱為單序列。gT行的七序列必須滿足:機械手不會對空的加工模塊做卸載操作,不會對己有晶圓的模塊做裝載品圓操作。

   定義15 丹晶圓生產(chǎn)月期(佬wafcr Cr⒗△mc)是指完成庀晶圓機械手活動序列所需的時間,也稱多晶圓生產(chǎn)周期或多度周期。七=1時,即為定義1.2的1晶圓生產(chǎn)周期。定義1,6 若存在常量z,使得對任意第次活動則稱機械手運行在穩(wěn)定狀態(tài)。穩(wěn)定狀態(tài)表現(xiàn)為集束型裝備執(zhí)行l(wèi)晶圓生產(chǎn)周期完畢的時刻恰好回到該周期開始執(zhí)行時刻的狀態(tài),也表現(xiàn)為多集束型裝備執(zhí)行庀晶圓周期完畢的時刻恰好回到該周期開始執(zhí)行時刻的狀態(tài)。