廣義的應(yīng)急調(diào)度的實(shí)現(xiàn)方式分為兩類:一類是事先不存在靜態(tài)調(diào)度方案,直接按R0502053S照生產(chǎn)系統(tǒng)中的晶圓和設(shè)備的狀況及相關(guān)信`自、,使用某種計(jì)算方法,確定晶圓或設(shè)各的加工決策,這種調(diào)度稱為使用允許時(shí)間在線調(diào)度;另一類是在已有靜態(tài)調(diào)度方案的基礎(chǔ)上,根據(jù)生產(chǎn)系統(tǒng)的現(xiàn)場(chǎng)狀態(tài),及時(shí)進(jìn)行靜態(tài)調(diào)度方案的調(diào)整,給出適合現(xiàn)場(chǎng)狀態(tài)的調(diào)度方案,這種調(diào)度稱為重調(diào)度lSg~93]�？紤]第一類使用允許時(shí)間的在線調(diào)度,并假設(shè)臨時(shí)晶圓到達(dá)時(shí),裝備內(nèi)的晶圓繼續(xù)加工,暫停裝各外等待的晶圓,調(diào)度系統(tǒng)優(yōu)先考慮臨時(shí)晶圓的作業(yè)安排。在實(shí)時(shí)調(diào)度系統(tǒng)中,資源(加工模塊和機(jī)械手)可以使用的加工時(shí)間和搬運(yùn)時(shí)間是一些時(shí)間區(qū)間值,是否能在這些區(qū)間值上加工取決于要加工晶圓的滯留時(shí)間及資源的空閑時(shí)間。

   因此,合理安排臨時(shí)晶圓的加工順序和滯留時(shí)間至關(guān)重要。

   以上兩類應(yīng)急調(diào)度都能夠獲得可操作性強(qiáng)的調(diào)度方案,但優(yōu)化計(jì)算過(guò)程又有所不同。在線調(diào)度具有較好的實(shí)時(shí)性,但在決策中往往只考慮局部信息,因此得到的調(diào)度方案只是可行的,與最優(yōu)調(diào)度方案可能有較大的差距;重調(diào)度則是在己有周期調(diào)度方案的基礎(chǔ)上,根據(jù)更多的系統(tǒng)狀態(tài)信息及加工任務(wù)對(duì)周期調(diào)度方案進(jìn)行動(dòng)態(tài)調(diào)整,得到的調(diào)整方案不僅具有可操作性,優(yōu)化效果也較好,更接近最優(yōu)調(diào)度方案,但有時(shí)需要以較長(zhǎng)的運(yùn)算時(shí)問(wèn)為代價(jià)。