根據(jù)調(diào)度環(huán)境和任務的不同,車間調(diào)度和半導體生產(chǎn)線調(diào)度均可分為靜態(tài)調(diào)度與動態(tài)調(diào)度兩種類型。R02101集束型裝備調(diào)度也有類似的分類,分別稱為周期性調(diào)度和應急調(diào)度(非周期性調(diào)度)。

   周期性調(diào)度

   周期性調(diào)度屬于靜態(tài)調(diào)度,是指在集束型裝各的狀態(tài)和加工任務確定的前提下形成優(yōu)化的調(diào)度方案的過程,該調(diào)度方案產(chǎn)生一個周期性機械手活動序列。周期調(diào)度是指裝備由暫態(tài)進入穩(wěn)定狀態(tài)時刻幻和狀態(tài)t/(勾),以確定的晶圓加工流程為輸入,采用適當?shù)恼{(diào)度

算法,在滿足約束條件及優(yōu)化日標的情況下,生成調(diào)度周期內(nèi)的調(diào)度方案,稱為基本周期。周期調(diào)度的約束條件包括加工模塊能力約束、機械手能力約束和滯留時間約束等,優(yōu)化目標為最大化產(chǎn)能。該調(diào)度方案一旦產(chǎn)生,所有晶圓的加工方案和機械手活動序列就被確定了,在以后的加工過程中也不再改變。