考慮單臂機(jī)械手的移動(dòng)時(shí)間,本章參考文獻(xiàn)[46]提出資源活動(dòng)鏈的概念,分析在各M11B416256A-35T個(gè)單集束型裝備中加工晶圓的分布規(guī)律,給出獲得最優(yōu)1晶圓調(diào)度的條件。在此條件下,給出―種計(jì)算復(fù)雜度為多項(xiàng)式的調(diào)度算法。作者認(rèn)為系統(tǒng)的生產(chǎn)節(jié)拍不等于基本周期最大值,而是與緩沖區(qū)耦合和集束型裝備的資源瓶頸有關(guān),并說(shuō)明系統(tǒng)的1晶圓調(diào)度取決于各個(gè)集束型裝備的1晶圓調(diào)度節(jié)拍,以及所有集束型裝備中晶圓的分布。但是該文獻(xiàn)給出的最優(yōu)1晶圓調(diào)度不能達(dá)到理論上生產(chǎn)節(jié)拍的下界,而且所提出的最優(yōu)I晶圓調(diào)度的條件十分有限。本章參考文獻(xiàn)[47]在本章參考文獻(xiàn)[46]的基礎(chǔ)上,提出庀晶圓周期調(diào)度方法,以期獲得的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間會(huì)更小。本章參考文獻(xiàn)[48]研究緩沖區(qū)有l(wèi)或2個(gè)模塊的單臂兩集束型裝備調(diào)度問(wèn)題。作者使用資源活動(dòng)鏈方法量化分析集束型裝備之間的耦合聯(lián)系,發(fā)現(xiàn)多集束型裝備中存在庀晶圓周期調(diào)度;通過(guò)分析給定調(diào)度時(shí)單個(gè)集束型裝備生產(chǎn)節(jié)拍的性質(zhì),以及兩集束型裝備中晶圓的分布,推導(dǎo)在給定調(diào)度情況下兩集束型裝備緩沖區(qū)容量為1和2時(shí)的最小生產(chǎn)節(jié)拍閉合表達(dá)式;提出兩集束型裝各的最優(yōu)佬晶圓周期調(diào)度算法,而且該算法的時(shí)間復(fù)雜度為多項(xiàng)式時(shí)間。顯然,當(dāng)緩沖區(qū)容量為2時(shí),由于可選調(diào)度增加,其最優(yōu)調(diào)度比容量為1時(shí)復(fù)雜,此時(shí)在加工晶圓數(shù)量在兩集束型裝備中有三種可能的分布方案,相應(yīng)地最小生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間也可能有三種情況。