周炳海等采用分解策略,將雙集束型裝備調(diào)度問(wèn)題分解成單個(gè)設(shè)備調(diào)度問(wèn)題,并LPO2506I-105LC提出一種搜索機(jī)械手調(diào)度順序的啟發(fā)式算法。本章參考文獻(xiàn)[Ω]研究單臂機(jī)械手、緩沖區(qū)容量為1、每道工序只有1個(gè)模塊的兩集束型裝備調(diào)度問(wèn)題,根據(jù)將多集束型裝各分解為單集束型裝備的思路,建立分解后單個(gè)集束型裝備調(diào)度的線性規(guī)劃模型,并提出機(jī)械手無(wú)死鎖的啟發(fā)式搜索算法。但是該方法不能保證獲得最優(yōu)解,也沒(méi)有分析生產(chǎn)周期能否達(dá)到下界。

   光刻Track系統(tǒng)能夠同時(shí)加工多種不同類型的晶圓,即可實(shí)現(xiàn)混流加工。不同類型的晶圓有著不同的加工工藝或加工路徑,當(dāng)中間緩沖區(qū)不足時(shí)系統(tǒng)存在潛在的死鎖,故要解決死鎖問(wèn)題。本章參考文獻(xiàn)提出一種無(wú)死鎖的調(diào)度方法,即根據(jù)已知的加工路徑,劃分潛在死鎖加工模塊集合及無(wú)死鎖加工模塊集合,并由此提出一個(gè)死鎖避免策略�？紤]加工模塊故障的發(fā)生,這一策略可能無(wú)法避免所有可能的死鎖(如二級(jí)死鎖)。為此,該方法應(yīng)用了死鎖檢測(cè)和恢復(fù)的策略。在此基礎(chǔ)上,提出相應(yīng)的在線調(diào)度規(guī)則使

得系統(tǒng)無(wú)死鎖運(yùn)行。其本質(zhì)就是在不考慮生產(chǎn)率的條件下求一個(gè)可行的調(diào)度方案。本章參考文獻(xiàn)[65,66]進(jìn)一步研究該問(wèn)題,在充分利用晶圓加工路徑柔性的基礎(chǔ)上,給出一種有效的死鎖避免策略。

   調(diào)度規(guī)則作為一種最常見的啟發(fā)式方法,由于簡(jiǎn)單、易于實(shí)現(xiàn)和計(jì)算復(fù)雜度低,常被用于集束型裝各動(dòng)態(tài)調(diào)度問(wèn)題中。集束型裝各的調(diào)度規(guī)則包括晶圓調(diào)度規(guī)則和機(jī)械手調(diào)度規(guī)則兩類,其調(diào)度規(guī)則的驗(yàn)證大多通過(guò)仿真方法阝刀。晶圓調(diào)度規(guī)則主要是決定晶圓的投放時(shí)間,即晶圓進(jìn)入集束型裝各開始加工時(shí)間;機(jī)械手調(diào)度規(guī)則主要是有效地分配晶圓搬運(yùn)作業(yè)及確定其執(zhí)行順序。單臂集束型裝備與機(jī)器人制造單元在物理配置上極其相似,故在此首先總結(jié)機(jī)器人制造單元調(diào)度規(guī)則的進(jìn)展,然后再討論一下集束型裝備調(diào)度規(guī)則研究的進(jìn)展。