集束型裝各是一個可重構(gòu)系統(tǒng),可以加工不同類型的晶圓。盡管加工模塊可以通過控制器的重新設(shè)置來實現(xiàn)不同的流程模式,但在不同模式的切換過程中,AAT3218IJS-3.3-T1系統(tǒng)要經(jīng)過“穩(wěn)態(tài)→過渡態(tài)→穩(wěn)態(tài)”的過程。系統(tǒng)的過渡態(tài)是指前批晶圓沒有結(jié)束加工,后批晶圓就進入集束型裝備開始加工,即前批晶圓沒有末態(tài)和后批晶圓沒有初態(tài),可以看出這種連續(xù)不中斷的加工方式,使進入系統(tǒng)的新類型晶圓不具有初態(tài)。

   晶圓制造過程是一個典型的復(fù)雜離散事件動態(tài)系統(tǒng)(Ⅱscrctc Event Dynamic Systcm,DEDs)。在集束型裝備的調(diào)度和運行控制中,除了因晶圓加工的滯留時間引起的調(diào)度可行性問題外,還需要避免另外一種不可行狀態(tài),即系統(tǒng)死鎖[I2~15]。重入加工的模塊及相鄰集束型裝備間的緩沖模塊需要共享,這些模塊在競爭有限資源時,如果缺乏有效的調(diào)度和控制方法,就會引起“死鎖”現(xiàn)象。死鎖發(fā)生時,系統(tǒng)中的任務(wù)永遠(yuǎn)被阻塞,不能被執(zhí)行。這一特點使集束型裝備調(diào)度問題更加復(fù)雜。