晶圓生產(chǎn)周期,即生產(chǎn)節(jié)拍,是指完成A915BY-101M晶圓生產(chǎn)過程所需的最短時(shí)間。1晶圓生產(chǎn)月期又稱基本周期(Fundamcntal Period,FP)或簡稱生產(chǎn)周期。晶圓生產(chǎn)過程是指一個(gè)連續(xù)的機(jī)械手活動(dòng)過程,在此期間恰好有1個(gè)晶圓從輸入裝載室進(jìn)入及有1個(gè)晶圓通過輸出裝載室離開裝備,同時(shí)機(jī)械手也回到開始時(shí)刻的狀態(tài)和位置。

   產(chǎn)能主要決定于晶圓的基本周期。晶圓生產(chǎn)周期又可分為l晶圓生產(chǎn)周期及批量(Lot)晶圓生產(chǎn)周期兩種。1晶圓生產(chǎn)周期是指1片品圓從裝載室投入集束型裝各,到各加工模塊加工完成后回到裝載室所花費(fèi)的時(shí)間總和。而批量晶圓生產(chǎn)周期是指一批量晶圓從進(jìn)入裝載室后,在各加工模塊加工完畢回到裝載室,直到一批量晶圓退出裝載室所花費(fèi)的時(shí)間總和。晶圓生產(chǎn)周期代表集束型裝各中晶圓的流動(dòng)速率,集束型裝備最看重的是晶圓的產(chǎn)出率,也就是產(chǎn)能,而在整個(gè)公司來看是獲得利潤的能力。若晶圓生產(chǎn)周期較長,待加工晶圓數(shù)量也就會(huì)相對(duì)增加,造成后面的原料或半成品存放位置不足。而且因制造時(shí)間拉長,產(chǎn)品的質(zhì)量也易受環(huán)境污染而降低良好率。定義1.3 如果一個(gè)可行的機(jī)械手活動(dòng)序列使得產(chǎn)能最大,該活動(dòng)序列稱為集束型裝各最優(yōu)機(jī)械手活動(dòng)序列。