為有效地描述集束型裝備調(diào)度問題,現(xiàn)做如下的基本定義與假設(shè)。 JS28F640J3D-75

   (1)輸入裝載室中的晶圓總是能夠及時(shí)送到,輸出裝載室不存在飽和問題,完成加工的晶圓總能被及時(shí)運(yùn)走。

   (2)晶圓搬運(yùn)模塊采用單臂機(jī)械手,每次只能搬運(yùn)一片晶圓。

  (3)機(jī)械手在不同工位的搬運(yùn)時(shí)間為歐氏搬運(yùn)時(shí)間,且任意兩個(gè)加工模塊之間搬運(yùn)時(shí)間包括工位到工位,以及工位到加工模塊的時(shí)間,由于工位到加工模塊的時(shí)間較短,因此在此忽略工位到加工模塊時(shí)間。

   (4)加工模塊之間無緩沖區(qū),必須在前一個(gè)晶圓被搬運(yùn)走后才能裝載下一個(gè)晶圓。

   (5)加工模塊每次最多只能加工一片晶圓,且加工過程不中斷,加工在機(jī)械手將晶圓裝載到加工模塊后立刻開始。

   (6)晶圓在加工模塊有滯留時(shí)間約束,即加工結(jié)束后,晶圓在加工模塊內(nèi)滯留時(shí)間有上限限制,超過該時(shí)間上限,晶圓就會(huì)變成次品。

   (7)機(jī)械手卸載時(shí)間都在一個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)發(fā)生,且從輸入裝載室卸載晶圓為周期內(nèi)發(fā)生的第一個(gè)卸載活動(dòng)。

   已有本章參考文獻(xiàn)[19~21]均有以上基本定義和假設(shè),并在此基礎(chǔ)上開展研究,其中集束型裝備大氣機(jī)械手專門負(fù)責(zé)輸入和輸出裝載室晶圓的輸入和輸出,因此假設(shè)l是合理的;假設(shè)3考慮了機(jī)械手在加工空間內(nèi)上、下、左、右旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的實(shí)際情況,符合集束型裝備在半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線的實(shí)際應(yīng)用情況;集束型裝備調(diào)度問題具有周期性特點(diǎn),可把任意機(jī)械手卸載活動(dòng)的開始時(shí)問作為生產(chǎn)周期的開始,故假設(shè)7設(shè)定是合理的。為方便建模,定義如下的符號(hào)和變量。