樣品檢查一般要求

   下面從方向邊、放大倍GAL16V8D-10LJNI數(shù)、觀察角度和觀察方向4個方面規(guī)定了對一般金屬化層和鈍化層臺階覆蓋作sEM檢查的一般要求。

   1)方向邊

   對每個樣品上的每一類鈍化層臺階(接觸窗口臺階或其他類型鈍化層臺階)應檢查其4個方向邊,如4.19所示。

   2)放大倍數(shù)

   對一般金屬化層和鈍化層臺階檢查時所用的放大倍數(shù)應在表⒋19確定的范圍內(nèi)。

   3)觀察角度

   應在適于精確評價金屬化層質(zhì)量的某個角度觀察樣品。通常在0°~85°觀察接觸窗口、金屬化層的厚度、附著性不佳和腐蝕性缺陷。

   4)觀察方向

   應在適于精確評價金屬化層質(zhì)量的方向上觀察樣品。這包括在接觸窗口和其他類型鈍化層臺階的邊沿檢查金屬化層。檢查方向的選取應能清楚地觀察每一邊且能很好地顯示鈍化層臺階上的任何缺陷。這意味著觀察角度可能與某一邊垂直、平行或相互成一個斜角,以便能最好地分辨鈍化層臺階上的任何缺陷(見圖⒋123)。