最小面積晶體管
發(fā)布時間:2008/6/5 0:00:00 訪問次數(shù):942
集成電路版圖設(shè)計通常是由集成電路中晶體管版圖開始的,而該晶體管版圖通常是最小面積晶體管的版圖。因此,掌握什么是最小面積晶體管,其版圖是如何確定的非常重要。另外,掌握集成電路制造中常用的各種晶體管版圖及其對應(yīng)的工藝剖面結(jié)構(gòu)也是十分重要的。最小面積晶體管--由圖形最小尺寸(圖形最小線寬和圖形最小間距)構(gòu)成的晶體管。
如圖18.21(p.356)所示的最小面積晶體管,隔離框內(nèi)管芯面積為6064μm2,如果槽寬為10μm,則每個最小晶體管所需隔離槽面積為3800μm2,每條隔離槽為兩相鄰隔離島共用,所以每個最小面積晶體管所需的隔離槽面積為1900 μm2 ,大約為內(nèi)管芯面積的1/3~l/4。
351頁,18.2.2節(jié)5. 雙極型ic中元件的圖形設(shè)計
按標(biāo)準(zhǔn)pn結(jié)隔離工藝制作的縱向npn管的縱向結(jié)構(gòu)和雜質(zhì)分布如圖a所示。圖中作為集電區(qū)的外延層摻雜濃度由晶體管的vcb0和vce0所決定,外延層電阻率是決定晶體管集電結(jié)勢壘電容cc、硼擴(kuò)電阻分布電容和隔離襯底結(jié)寄生電容ccs的重要因素,對電路速度影響較大的ccs部分地由襯底電阻率決定。埋層的薄層電阻和埋層擴(kuò)散深度直接影響到集電極串聯(lián)電阻rcs。由發(fā)射區(qū)擴(kuò)散和基區(qū)擴(kuò)散決定了電流放大系數(shù)和特征頻率。
集成電路版圖設(shè)計通常是由集成電路中晶體管版圖開始的,而該晶體管版圖通常是最小面積晶體管的版圖。因此,掌握什么是最小面積晶體管,其版圖是如何確定的非常重要。另外,掌握集成電路制造中常用的各種晶體管版圖及其對應(yīng)的工藝剖面結(jié)構(gòu)也是十分重要的。最小面積晶體管--由圖形最小尺寸(圖形最小線寬和圖形最小間距)構(gòu)成的晶體管。
如圖18.21(p.356)所示的最小面積晶體管,隔離框內(nèi)管芯面積為6064μm2,如果槽寬為10μm,則每個最小晶體管所需隔離槽面積為3800μm2,每條隔離槽為兩相鄰隔離島共用,所以每個最小面積晶體管所需的隔離槽面積為1900 μm2 ,大約為內(nèi)管芯面積的1/3~l/4。
351頁,18.2.2節(jié)5. 雙極型ic中元件的圖形設(shè)計
按標(biāo)準(zhǔn)pn結(jié)隔離工藝制作的縱向npn管的縱向結(jié)構(gòu)和雜質(zhì)分布如圖a所示。圖中作為集電區(qū)的外延層摻雜濃度由晶體管的vcb0和vce0所決定,外延層電阻率是決定晶體管集電結(jié)勢壘電容cc、硼擴(kuò)電阻分布電容和隔離襯底結(jié)寄生電容ccs的重要因素,對電路速度影響較大的ccs部分地由襯底電阻率決定。埋層的薄層電阻和埋層擴(kuò)散深度直接影響到集電極串聯(lián)電阻rcs。由發(fā)射區(qū)擴(kuò)散和基區(qū)擴(kuò)散決定了電流放大系數(shù)和特征頻率。
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