表面彈性波式進(jìn)氣歧管壓力傳感器如圖1所示。它是在一塊壓電基片上用超聲波方

圖1 表面彈性波式進(jìn)氣歧管壓力傳感器

　　法加工出一薄膜敏感區(qū)，上面刻制換能器（壓敏saw延時(shí)線），換能器與電路組合成振蕩器。為了提高測量 精度，補(bǔ)償溫度對基片的影響，在薄膜敏感區(qū)邊緣設(shè)置另一只性能相同的換能器（溫基saw延時(shí)線）。換能 器是在拋光的壓電基片上設(shè)置兩個(gè)金屬叉指構(gòu)成，若在輸入換能叉指t1上加電信號，便由逆壓電效應(yīng)在基片 表面激勵(lì)起彈性表面波，傳播到換能叉指t2轉(zhuǎn)換成電信號，經(jīng)放大后反饋到t1以便保持振蕩狀態(tài)。表面彈性 波（saw）在兩個(gè)換能叉指之間的傳播時(shí)間即是所獲得的延遲時(shí)間，其大小取決于兩換能叉指間的距離。由 于導(dǎo)人的進(jìn)氣歧管壓力作用于壓電基片上，壓力變化將在薄膜敏感區(qū)產(chǎn)生應(yīng)變，即使換能叉指間距離發(fā)生變化。因而，表面彈性波傳播的延遲時(shí)間相應(yīng)變化。這樣，根據(jù)與延遲時(shí)間成反比的振蕩頻率，即可輸出壓力信號。

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