有些測量技術(shù)是多用途的，JS28F128J3F75A如掃描電鏡，在某一一范圍內(nèi)，  ．項新的技術(shù)是原子力顯微鏡( Atomic F'orce Microscopy，AFlM)、它是一個觀測表面形貌的機器，能夠讓一個精密的平衡探針#j過表面（見圖14.28）。探針和表面分離很�。ù蠹s2A）以至于表面和探測材料之間的原子力能影響到實際探測。探針在晶圓上移動時，精密的電f系統(tǒng)能測試探針的位置，所以可以繪制出表面的三維圖像17（見圖14. 29）

   獲取最終圖像    對應(yīng)的高度(：)表格圖14. 28原子力顯微鏡(AFM)（源自：Semiconductor Intemational）

    圖14. 29原子力顯微鏡(AFM)的表面乏維圖像

   原子力顯微鏡敏感度在l A范圍內(nèi)，并能在接觸和非接觸模式下實現(xiàn)操作。第一個原子力顯微鏡產(chǎn)品于1990年問世，它的投影儀圖成為其檢測寶庫中不可缺少的一部分。，原子力顯微鏡的特性包括：表征顆粒尺寸、探測顆粒、測量表面粗糙度，以及提供所有三維關(guān)鍵尺寸測量。一種創(chuàng)新的用法是原子力顯微鏡探針和光學顯微鏡物鏡相結(jié)合。