在快速、精確和非毀壞性的表面檢測(cè)機(jī)器研究過(guò)程中，產(chǎn)生散射儀( sCatterometr)度鼉衡學(xué)。JS28F128J3F75A光學(xué)系統(tǒng)的精確性受光波波長(zhǎng)的限制。大致地，尺寸小于使用光線波長(zhǎng)的顆粒和表面特征不能被探測(cè)到。然而，散射的光束能夠給出小于波長(zhǎng)的表面特征信息。一個(gè)散射儀系統(tǒng)能將晶圓置于屏幕曲率中心（見圖14. 30）一一個(gè)入射激光束在鏡片表面進(jìn)行掃描并被反射，而且經(jīng)晶圓表面散射后的散射束將打到屏幕上。一種帶有微處理器的照相機(jī)會(huì)捕獲屏幕L的圖像并重現(xiàn)表面以在屏幕上生成精確的圖案，、像原子力顯微鏡一樣，這項(xiàng)技術(shù)在測(cè)量顆粒尺寸、輪廓和關(guān)鍵尺寸方面也有很大的潛力。它還能夠測(cè)量未顯影的光刻膠的潛影和表征相移

掩模版。

    圖14. 30  散射儀的配置（源自：Solid State Technology，March．1993）

   污染認(rèn)定

   推進(jìn)納米時(shí)代要求對(duì)晶圓表面卜（或淀積層上）的污染提供更多更細(xì)的信息，、關(guān)于污染的類型、形態(tài)、數(shù)量和其他數(shù)據(jù)對(duì)倮持清潔的工藝與產(chǎn)品是必要的。在這一部分，會(huì)介紹用于收集這些數(shù)據(jù)的儀器。整體來(lái)講，所有這些機(jī)器是基于同樣的原則：當(dāng)表面被能量激活，將有能量發(fā)出，這些發(fā)出的能量可以反映晶圓表面材料的特征。