結(jié)電容器
發(fā)布時間:2015/11/13 21:18:35 訪問次數(shù):684
結(jié)電容器:在器件中,每個結(jié)都是一個電容器。當(dāng)每個結(jié)的兩邊被加上電壓時,載流子NE555DR就會離開結(jié),形成耗盡區(qū)(見圖16.8)。在器件和電路中,這種耗盡區(qū)就起到了電容器的作用。
圖16.7單片電容器 圖16.8耗盡層結(jié)電容器
在設(shè)計電路時,必須考慮結(jié)電容效應(yīng)。實際上,在一些電路中就把結(jié)電容作為電路設(shè)計的一部分。這種自煞的結(jié)電容有降低電路運行速度的效應(yīng),這是因為耗盡區(qū)在有電流流過之前需要一定的時間來“充滿”(或稱為充電)電容器。不同的結(jié)電容需要不同的時間來放電,這些充放電的時間影響著電路的開關(guān)和運行速度。溝槽電容器:對于晶圓表面的節(jié)省一直是電路設(shè)計的一個標(biāo)準(zhǔn)。金屬一氧化物電容器的一個問題就是它的面積相對比較大。而溝槽(隱埋)電容器可以解決這個問題。它是通過把溝槽豎直刻蝕到晶圓的表面從而形成電容器來實現(xiàn)的(見圖16.9)。對于溝槽的刻蝕可以用濕法技術(shù)(各向同性)或者干法技術(shù)(各向異性)。溝槽的側(cè)壁被氧化(介質(zhì)材料),同時溝槽內(nèi)部則填滿了沉積的多晶硅。最終形成由硅和多晶硅作為兩個電極,二氧化硅作為它們之間介電質(zhì)的線狀結(jié)構(gòu)。可以用其他介質(zhì)材料替換二氧化硅以增加性能。
結(jié)電容器:在器件中,每個結(jié)都是一個電容器。當(dāng)每個結(jié)的兩邊被加上電壓時,載流子NE555DR就會離開結(jié),形成耗盡區(qū)(見圖16.8)。在器件和電路中,這種耗盡區(qū)就起到了電容器的作用。
圖16.7單片電容器 圖16.8耗盡層結(jié)電容器
在設(shè)計電路時,必須考慮結(jié)電容效應(yīng)。實際上,在一些電路中就把結(jié)電容作為電路設(shè)計的一部分。這種自煞的結(jié)電容有降低電路運行速度的效應(yīng),這是因為耗盡區(qū)在有電流流過之前需要一定的時間來“充滿”(或稱為充電)電容器。不同的結(jié)電容需要不同的時間來放電,這些充放電的時間影響著電路的開關(guān)和運行速度。溝槽電容器:對于晶圓表面的節(jié)省一直是電路設(shè)計的一個標(biāo)準(zhǔn)。金屬一氧化物電容器的一個問題就是它的面積相對比較大。而溝槽(隱埋)電容器可以解決這個問題。它是通過把溝槽豎直刻蝕到晶圓的表面從而形成電容器來實現(xiàn)的(見圖16.9)。對于溝槽的刻蝕可以用濕法技術(shù)(各向同性)或者干法技術(shù)(各向異性)。溝槽的側(cè)壁被氧化(介質(zhì)材料),同時溝槽內(nèi)部則填滿了沉積的多晶硅。最終形成由硅和多晶硅作為兩個電極,二氧化硅作為它們之間介電質(zhì)的線狀結(jié)構(gòu)?梢杂闷渌橘|(zhì)材料替換二氧化硅以增加性能。
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