磷主擴散

   (1)陪片擺放在磷源兩側(cè),推入擴散爐恒溫區(qū),爐溫1150℃,氮氣流量0,5L/min,擴散時間在15m沆左右調(diào)整。 FFSH40120ADN_F155

   (2)取出陪片,漂掉磷硅玻璃(用HF:H2O=卜10溶液),然后將其置于探針臺上,使用晶體管特性圖示儀測量`值,若有卩值,說明已形成了礦pll管,即有兩個pn結(jié)。如果`在幾到十幾之間,合格;如果儼田或∫>209調(diào)整主擴散時間。

   (3)以合格的陪片工藝條件對硅片(正片)進行磷主擴散。將硅片擺放在磷源片的兩側(cè),光刻窗口與源片相對,距離均勻一致;勻速緩慢地將石英舟推入擴散爐恒溫區(qū),進行主擴散。

   (4)擴散時間一到,將石英舟勻速緩慢地拖至爐口;停爐,停氣。