工藝模擬是通過計(jì)算機(jī)對集成電路制造過程中的物理過程進(jìn)行模擬,能計(jì)算出器件內(nèi)部的結(jié)構(gòu)及雜質(zhì)分布,如果能進(jìn)一步把工藝模擬、 FGH40N65UFDTU器件模擬與電路模擬的結(jié)果相結(jié)合,就可以得到各個(gè)I藝步驟之后的器件性能及電路性能。反之,如果從器件性能的要求出發(fā),設(shè)法找到一套合理的△藝步驟及工藝參數(shù),對器件的開發(fā)和工藝開發(fā)意義也非常重大。集成電路工藝模擬系統(tǒng)就是根據(jù)給定的I藝條件,利用數(shù)值技術(shù),求解由工藝模型所描述的微分方程或代數(shù)方程,從而實(shí)現(xiàn)對集成電路制造工藝過程的計(jì)算機(jī)仿真。在集成電路的新產(chǎn)品旰發(fā)和大規(guī)模生產(chǎn)的有力推動(dòng)下,為滿足對集成電路器件△藝的研究需要,I藝模擬技術(shù)和反映復(fù)雜T藝的模擬模型也飛快地發(fā)展起來,集成電路工藝汁算機(jī)模擬已成為集成電路丁藝開發(fā)的一種重要輔F勹手段。目前,比較成熟的集成電路工藝模擬系統(tǒng)是由美國斯坦福大學(xué)開發(fā)的SUPREM(S1ani}llU泳/e內(nèi)”Process Engneehlg Modcls)系列集成電路lI藝模擬系統(tǒng),隨著集成電路I藝生產(chǎn)的發(fā)發(fā)而不斷更新,至今已經(jīng)先后有了四代產(chǎn)品。