工藝模擬是通過計算機對集成電路制造過程中的物理過程進行模擬,能計算出器件內部的結構及雜質分布,如果能進一步把工藝模擬、 FGH40N65UFDTU器件模擬與電路模擬的結果相結合,就可以得到各個I藝步驟之后的器件性能及電路性能。反之,如果從器件性能的要求出發(fā),設法找到一套合理的△藝步驟及工藝參數,對器件的開發(fā)和工藝開發(fā)意義也非常重大。集成電路工藝模擬系統(tǒng)就是根據給定的I藝條件,利用數值技術,求解由工藝模型所描述的微分方程或代數方程,從而實現對集成電路制造工藝過程的計算機仿真。在集成電路的新產品旰發(fā)和大規(guī)模生產的有力推動下,為滿足對集成電路器件△藝的研究需要,I藝模擬技術和反映復雜T藝的模擬模型也飛快地發(fā)展起來,集成電路工藝汁算機模擬已成為集成電路丁藝開發(fā)的一種重要輔F勹手段。目前,比較成熟的集成電路工藝模擬系統(tǒng)是由美國斯坦福大學開發(fā)的SUPREM(S1ani}llU泳/e內”Process Engneehlg Modcls)系列集成電路lI藝模擬系統(tǒng),隨著集成電路I藝生產的發(fā)發(fā)而不斷更新,至今已經先后有了四代產品。