刻蝕是當(dāng)今世上最大的制造業(yè)
發(fā)布時(shí)間:2017/11/1 19:46:30 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù):400
刻蝕是當(dāng)今世上最大的制造業(yè)―――超大規(guī)模集成電路(UL⒏)制造中影響重大且至關(guān)重要的技術(shù)之一。 O4FMNBMTTNATFT在集成電路(IC)制造中,刻蝕是一種在暴露的硅襯底或晶圓表面未保護(hù)的薄膜上去除材料的△藝;厮莸20世紀(jì)60年代后期,濕法刻蝕,即把要被刻蝕的目標(biāo)材料浸泡在腐蝕液中的方法,曾經(jīng)是低成本集成電路制造的關(guān)鍵技術(shù)。然而,它特有的各向同性刻蝕的性質(zhì),嚴(yán)重地阻礙了其在高密度IC制造中的應(yīng)用。具有各向異性刻蝕特性的干法刻蝕,成為能夠滿(mǎn)足器件尺寸持續(xù)縮小的不可替代的制造技術(shù)。從⒛世紀(jì)70年代早期開(kāi)始,以CF4/02為刻蝕劑的干法刻蝕已經(jīng)廣泛地應(yīng)用于刻蝕出高分辨的圖形,并且仍然流行于當(dāng)今32nmェ藝節(jié)點(diǎn)的氧化物刻蝕中。
干法刻蝕通常要用到等離子,等離子被稱(chēng)作物質(zhì)的第四態(tài),它可以被看作部分或全部放電的氣體,在這氣體中,包含有電子、離子、中性的原子和/或分子。從總體上看,等離子保持著電中性。這樣的氣體電離率較低,即只有一小部分分子被電離了。然而,如此低的電離率卻可以產(chǎn)生足夠大的局部電荷,這些電荷具有足夠長(zhǎng)的壽命。這就為等離子刻蝕消耗材料提供了可能。等離子刻蝕的廣泛應(yīng)用取決于等離子的狀態(tài)、幾何形狀、激勵(lì)方法等多種條件。
刻蝕是當(dāng)今世上最大的制造業(yè)―――超大規(guī)模集成電路(UL⒏)制造中影響重大且至關(guān)重要的技術(shù)之一。 O4FMNBMTTNATFT在集成電路(IC)制造中,刻蝕是一種在暴露的硅襯底或晶圓表面未保護(hù)的薄膜上去除材料的△藝。回溯到20世紀(jì)60年代后期,濕法刻蝕,即把要被刻蝕的目標(biāo)材料浸泡在腐蝕液中的方法,曾經(jīng)是低成本集成電路制造的關(guān)鍵技術(shù)。然而,它特有的各向同性刻蝕的性質(zhì),嚴(yán)重地阻礙了其在高密度IC制造中的應(yīng)用。具有各向異性刻蝕特性的干法刻蝕,成為能夠滿(mǎn)足器件尺寸持續(xù)縮小的不可替代的制造技術(shù)。從⒛世紀(jì)70年代早期開(kāi)始,以CF4/02為刻蝕劑的干法刻蝕已經(jīng)廣泛地應(yīng)用于刻蝕出高分辨的圖形,并且仍然流行于當(dāng)今32nmェ藝節(jié)點(diǎn)的氧化物刻蝕中。
干法刻蝕通常要用到等離子,等離子被稱(chēng)作物質(zhì)的第四態(tài),它可以被看作部分或全部放電的氣體,在這氣體中,包含有電子、離子、中性的原子和/或分子。從總體上看,等離子保持著電中性。這樣的氣體電離率較低,即只有一小部分分子被電離了。然而,如此低的電離率卻可以產(chǎn)生足夠大的局部電荷,這些電荷具有足夠長(zhǎng)的壽命。這就為等離子刻蝕消耗材料提供了可能。等離子刻蝕的廣泛應(yīng)用取決于等離子的狀態(tài)、幾何形狀、激勵(lì)方法等多種條件。
熱門(mén)點(diǎn)擊
- 曝光能量寬裕度,歸一化圖像對(duì)數(shù)斜率(NILs
- CVD是用來(lái)制備二氧化硅介質(zhì)薄膜的主要工藝方
- 退火過(guò)程中晶粒的變化
- 光刻膠配制原理
- 電子產(chǎn)品裝配過(guò)程中常用的圖紙有哪些?
- 進(jìn)行劑量補(bǔ)償是刻蝕后檢查(AEI)CDU改善
- 有機(jī)物、金屬、顆粒的去除(SC1):
- 載流子遷移率提高技術(shù)
- 光刻技術(shù)發(fā)展歷史
- 薄層金屬沉積需要良好的臺(tái)階覆蓋性
推薦技術(shù)資料
- 業(yè)余條件下PCM2702
- PGM2702采用SSOP28封裝,引腳小而密,EP3... [詳細(xì)]
- CV/CC InnoSwitch3-AQ 開(kāi)
- URF1DxxM-60WR3系
- 1-6W URA24xxN-x
- 閉環(huán)磁通門(mén)信號(hào)調(diào)節(jié)芯片NSDRV401
- SK-RiSC-SOM-H27X-V1.1應(yīng)
- RISC技術(shù)8位微控制器參數(shù)設(shè)
- 多媒體協(xié)處理器SM501在嵌入式系統(tǒng)中的應(yīng)用
- 基于IEEE802.11b的EPA溫度變送器
- QUICCEngine新引擎推動(dòng)IP網(wǎng)絡(luò)革新
- SoC面世八年后的產(chǎn)業(yè)機(jī)遇
- MPC8xx系列處理器的嵌入式系統(tǒng)電源設(shè)計(jì)
- dsPIC及其在交流變頻調(diào)速中的應(yīng)用研究