圖13.8畫出了一個橋連的熱點(diǎn), R10937P40這個熱點(diǎn)位于一個大的金屬結(jié)構(gòu)附近,對于這個熱點(diǎn)OPC很難起到效果。MEEF分析結(jié)果表明(見圖13,9),相鄰線條邊緣在OPC之后MEEF,和OPC之前相比都變差了。

   圖13,8 取自Meta⒈1層的測試圖形。相鄰兩條線的間距僅為90nm,這會在后OPC驗(yàn)證中導(dǎo)致橋連類型的缺陷目標(biāo)層上線邊沿上最大的MEEF值是3.7。理想的結(jié)果是經(jīng)過OPC之后該數(shù)值減少,

但事實(shí)上,經(jīng)過OPC之后它增加到了4,7,由此導(dǎo)致了OPC不相容邊沿圖形。這來源于相鄰線條之間緊密的距離(90nm)�；诋�(dāng)前熱點(diǎn)的MEEF數(shù)值在OPC前已經(jīng)很高了,通常的補(bǔ)救辦法是改變設(shè)計(jì)。

   對于這個熱點(diǎn)的設(shè)計(jì)修正是把相鄰線條的距離各移動10nm,使距離變?yōu)?10nm。同 時(shí)去掉目標(biāo)圖形⒈的凹凸不平之處,從而使得OP(r更容易。在這個例子中,由于附近有較大的空閘,所以這樣的移動是行的。

   圖139 線條熱點(diǎn)邊沿的MEEF測章。左邊的版圖給出OPC前的測量值,向f右邊的版罔給出OPt∶后的測董仙版圖修改以后.()PC之后邊緣的最大的MEEF值由原來的4.7變?yōu)?.2,而且MEEF比率(OPC之后∷OIDC之前)也由原來的4,7Ⅱ3.7=1,3變?yōu)?,2∷3.5=0.9。結(jié)果顯示在圖13.10中。