光學顯微鏡l,xl其操作簡單、圖像苜TPS71025D觀的特性,廣泛用于集成電路的觀測(inspection)。

   隨著物理尺寸和缺陷尺寸的縮小,對觀測設備的高分辨率要求的提高,掃描電子顯微鏡(SEM)逐漸代替光學顯微鏡成為主要觀察⒈具。但最終,掃描電鏡,其分辨率也不能滿足深亞微米技術(shù)某些關(guān)鍵尺寸/結(jié)構(gòu)要求,囚此透射電子顯微鏡及掃描探針技術(shù)的應用變得

越來越廣。

   表面為曲面的玻璃或其他透明材料制成的光學透鏡可以使物體放大成像,光學顯微鏡就是利用這一原理,把人眼所不能分辨的近處的微小物體放大到人眼足以觀察的尺寸。光學顯微鏡一般由聚光照明系統(tǒng)、物鏡.日鏡(光學系統(tǒng))載物臺、調(diào)焦機構(gòu)(機械系統(tǒng))和照相系統(tǒng)組成。聚光照明系統(tǒng)主要由光源和聚光鏡構(gòu)成.光源即能發(fā)射光波的物體,光源產(chǎn)生的光束(常為可見光,紫外線/UV,和深紫外線DUⅤ)經(jīng)聚光鏡作用后使其集屮到置于載物臺上樣品的被觀察部分。被觀察物體位于物鏡前方(離開物鏡的距離大于物鏡的焦距,但小于兩倍物鏡焦距),物鏡是實現(xiàn)第一級放大的鏡頭,物體經(jīng)物鏡放大后成一倒立實像,在顯微鏡的沒汁上.將此像落在目鏡的一倍焦距之內(nèi),使物鏡所放大的第一次像(中問像),叉被目鏡再一次放大,最終在目鏡的物方(L護間像的同側(cè))、人眼的明視距離(250mm)處形成放大的直立(相對中間像而言)虛像,人眼看到的就是虛像。在觀測時,利用調(diào)焦旋鈕使載物臺作粗調(diào)和微調(diào)的升降運動,使被觀察物體調(diào)焦清晰成像。

   物鏡是顯微鏡屮對成像質(zhì)量優(yōu)劣起決定性作用的光學元件。一般物鏡的最大放大倍數(shù)為160x或⒛Ox;目鏡放大倍數(shù)為lOx,囚此,顯微鏡最大放大倍數(shù)為160Ox或2000x。人眼在自然狀態(tài)下的分辨能力約為0.25um9則顯微鏡的最大分辨能力為O.16um或0・13um。顯而易見,顯微鏡的分辨極限已經(jīng)不能滿足深亞微米IC結(jié)構(gòu)分析對分辨率的要求。