透射電子:如果被分析的樣品很薄.就會(huì)有一部分人射電子穿過薄樣品而成為透射電子。T0610MH透射電子顯微鏡(TEM)I作原理是基于透過樣品的透射電子帶有反映樣品特征的信息,經(jīng)物鏡形成一次放大電子圖像.再經(jīng)中間鏡和投影鏡進(jìn)一步放大后,在熒光屏上得到最后的電子顯微圖像。

   掃描電子顯微鏡的一個(gè)非常突出的優(yōu)點(diǎn)是具有較大的聚焦深度(景深),在相同放大倍率時(shí),掃描電鏡的景深比光學(xué)顯微鏡高300倍以上。正因?yàn)閽呙桦婄R有上述優(yōu)點(diǎn),它能夠清楚地觀察表面十分粗糙的樣品,并且樣品制備簡(jiǎn)單,可以對(duì)樣品的任何細(xì)微結(jié)構(gòu)及其他面 特性放大十幾萬倍進(jìn)行觀察和分析。相較于光學(xué)顯微鏡,具有景深范圍大;相較于透射電子顯微鏡,具有樣品制備方便,可掃描觀測(cè)面積范圍大等優(yōu)點(diǎn)。已成為集成電路失效分析必不可少的、強(qiáng)有力的日常工具。