橢圓偏光法涉及橢圓偏振光在材料表面的反射。為表征SC2260R4反射光的特性,可分成兩個分量:P和S偏振態(tài),P分童是指平行于人射面的線性偏振光,S分量是指垂直于人射面的線性偏振光。菲涅耳反射系數(shù)'描述了在一個界面入射光線的反射。P和S偏振態(tài)分量各白的菲涅耳反射系數(shù)廠是各白的反射波振幅與人射波振幅的比值。大多情況下會有多個界 面,回到最初人射媒介的光經(jīng)過了多次反射和透射�？偟姆瓷湎禂�(shù)R'和R、由每個界面的菲涅耳反射系數(shù)決定。Rp和Rs定義為最終的反射波振幅與人射波振幅的比值。圖16.5給出了橢偏儀的基本光學(xué)物理結(jié)構(gòu)。已知人射光的偏振態(tài),偏振光在樣品表面被反射,測量得到反射光偏振態(tài)(幅度和相位〉,計算或擬合出材料的屬性。