在良率提升階段,使用的光罩,包含一種或者多種產(chǎn)品,或者包含各種特殊設(shè)計(jì)的測(cè)試結(jié)構(gòu),通常稱為良率學(xué)習(xí)載體(yield learning vehicle)。 SC806IMLTRT

   采用邏輯或者M(jìn)em。ry產(chǎn)品的光罩,通常采用full flow的流片,w盯er會(huì)經(jīng)歷所有的工藝步驟,典型的流片時(shí)問在1~2個(gè)月。這樣做的優(yōu)點(diǎn)是試驗(yàn)結(jié)果可以直接反映在產(chǎn)品的yield~L,缺點(diǎn)是learning cycle太長(zhǎng),而且問題的診斷和追溯原因比較困難。

   如果已經(jīng)知道I藝改善的大概環(huán)節(jié),可以采用short loop流片的方式。例如,已經(jīng)了解問題出在M1相關(guān)的I藝步驟,僅在M1相關(guān)的△藝流片。這樣Short loop的試驗(yàn)往往能在一兩周甚至數(shù)天之內(nèi)完成,learning cycle大大縮短。圖17.19給出了I藝線上常見的sh°rt loop試驗(yàn)的流程。