由于在先進(jìn)制程,光罩費(fèi)用昂貴,一套光SCA100T-D01罩成本可能高達(dá)數(shù)百萬(wàn)美元,所以每個(gè)shortprocess loop都使用單獨(dú)一套光罩是不經(jīng)濟(jì)的,通常對(duì)yield learning vehiclc的要求是一套光罩,必須能兼容各I藝段shord∞p試驗(yàn)的設(shè)計(jì)t采用Mcmory(SRAM或者DRAM)產(chǎn)品作為yield lcarning vehicle的好處,是較一般的邏輯產(chǎn)品而言,Mcmory的密度高.對(duì)于隨機(jī)缺陷的捕獲能力強(qiáng),另外陣列化/地址化的布局,失效可實(shí)現(xiàn)晶體管級(jí)的定位・易于失效分析(EFA、PFA),快速找到失效機(jī)制。

   但是進(jìn)人納米時(shí)代后,Memory作為yiCld learning vehicle的缺點(diǎn)也日益凸現(xiàn)。首先是對(duì)于設(shè)計(jì)和I藝交互的(版圖相關(guān)性的)systcmatic失效,難以捕捉;其次對(duì)于parametric失效,缺乏有效追溯手段;最后,必須完成所有△藝,流片時(shí)間太長(zhǎng)。