Rcgression(凵歸分析)是常用的研究response和hctor之問數(shù)量關(guān)系的方法。很多時TA8429H候,僅有定性的了解(相關(guān)性的強弱)對于具體問題的解決是不夠的,量化的研究分析是必要的。

    如圖17.36所示,產(chǎn)品上觀察到有明顯的leakage問題,呔W(wǎng)^\T數(shù)椐nT以看到NM()S和PM()s的leakage wafer mal)有較強的相似跬∷戔于XXˉ\T011丿仃inlinc測試(例如MD,比產(chǎn)品的測試結(jié)果提前幾同.如果能住△冖l的:c。k:g辶布、\T的`P iζf=kagc11建立量化的模型,那么能提前數(shù)同就發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品的lcakagt司題J⒈采取相應(yīng)的⒈藝改善措施:圖下方是一個簡單的線性關(guān)系模型.其中o.”・t是∷個待定常數(shù)。

   圖1736 Regrcssion應(yīng)用案例

   利片歷史數(shù)據(jù)對產(chǎn)品的leakage和N/P MΘSle狄age進行建模后,采用一批新的數(shù)據(jù)進行模型準確度的比較。圖17.37演示了對于圖17,36做rcgression之后建立的模型對丁實際數(shù)據(jù)的預(yù)測能力,從圖上看預(yù)測是比較準確的。于是可以利用M1的WAT數(shù)據(jù)・提前預(yù)測產(chǎn)品的1cakage性能表現(xiàn),對于Πl(fā)藝改善的速度有很大提高。

   T-test是常見的兩組數(shù)據(jù)均值的比較方法,可以用于檢驗I藝、設(shè)備、量測等的,E配是否在統(tǒng)計上有著顯著差別。