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統(tǒng)計(jì)意義的顯著性和工程意義的顯著性的區(qū)別

發(fā)布時(shí)間:2017/11/21 21:13:26 訪問次數(shù):690

   一般工藝線卜采用trend chart.b°xplot等方式對(duì)于兩組樣本數(shù)據(jù)進(jìn)行直觀的比較。TC1047AVNBTR不過由于異常點(diǎn)等噪聲十?dāng)_T程人員的判斷,有時(shí)惠接從圖表上看不出明顯的區(qū)別。此時(shí),借助T test這種簡(jiǎn)單的統(tǒng)計(jì)方法,可以幫助T程人員進(jìn)行判斷。

   如圖17.38所示.直接從trend cl)ar1上,很難看出wafer的center和cdge的Rsl×別是否帚著。不過從孓1est結(jié)果,夕=0.O1<0.05(在很多△程領(lǐng)域夕<0.0弓作為顯薺性的標(biāo)志),意味著從統(tǒng)計(jì)L講,它們的差別是顯著的。

      

   在T―test分析時(shí),需要驗(yàn)證・些假設(shè),如數(shù)據(jù)樣本之間的獨(dú)立性和數(shù)據(jù)分布的正態(tài)性竿:這里不進(jìn)行深人討論,關(guān)于T―tcs1分析的原理有興趣的瀆者請(qǐng)參閱相關(guān)統(tǒng)計(jì)書籍,使用請(qǐng)參閱cxcd幫助文檔T test函數(shù)部分。需要意的是,統(tǒng)計(jì)意義的顯著性和I程意義的顯著性的區(qū)別。例如,I程分析人員發(fā)現(xiàn),花費(fèi)額外1㈠○0美元/wafer的制程改善,確實(shí)能改善0.01%的yield。這0.01%的改善也許從統(tǒng)計(jì)意義L是混著的,不過從T程意義上講完仝不值得為此做這么昂貴的投人。

 

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   如圖17.38所示.直接從trend cl)ar1上,很難看出wafer的center和cdge的Rsl×別是否帚著。不過從孓1est結(jié)果,夕=0.O1<0.05(在很多△程領(lǐng)域夕<0.0弓作為顯薺性的標(biāo)志),意味著從統(tǒng)計(jì)L講,它們的差別是顯著的。

      

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